仪表技术与传感器
儀錶技術與傳感器
의표기술여전감기
INSTRUMENT TECHNIQUE AND SENSOR
2012年
1期
10-12
,共3页
史伟莉%薛晨阳%谭振新%刘俊%张斌珍%张文栋
史偉莉%薛晨暘%譚振新%劉俊%張斌珍%張文棟
사위리%설신양%담진신%류준%장빈진%장문동
金属半导体场效应晶体管%沟道角度%灵敏度
金屬半導體場效應晶體管%溝道角度%靈敏度
금속반도체장효응정체관%구도각도%령민도
通过设计与悬臂梁呈不同角度的沟道,对GaAs基金属半导体场效应晶体管(MESFET)的微加速度计的输出特性进行了初步测试研究.设计了GaAs MESFET的材料层结构并采用四梁固支结构.通过表面浅工艺加工出GaAs MESFET微加速度计.将敏感单元GaAs MESFET嵌入四梁靠近根部的位置.设计了3种不同的沟道角度,分别与悬臂梁呈45°、90°、0°,通过实验定量分析了GaAs MESFET在受到外力时,不同沟道角度的GaAs MESFET加速度计的灵敏度,且0°时灵敏度最高.最终指导传感器的优化设计,为进一步提高微加速度计的灵敏度奠定基础.
通過設計與懸臂樑呈不同角度的溝道,對GaAs基金屬半導體場效應晶體管(MESFET)的微加速度計的輸齣特性進行瞭初步測試研究.設計瞭GaAs MESFET的材料層結構併採用四樑固支結構.通過錶麵淺工藝加工齣GaAs MESFET微加速度計.將敏感單元GaAs MESFET嵌入四樑靠近根部的位置.設計瞭3種不同的溝道角度,分彆與懸臂樑呈45°、90°、0°,通過實驗定量分析瞭GaAs MESFET在受到外力時,不同溝道角度的GaAs MESFET加速度計的靈敏度,且0°時靈敏度最高.最終指導傳感器的優化設計,為進一步提高微加速度計的靈敏度奠定基礎.
통과설계여현비량정불동각도적구도,대GaAs기금속반도체장효응정체관(MESFET)적미가속도계적수출특성진행료초보측시연구.설계료GaAs MESFET적재료층결구병채용사량고지결구.통과표면천공예가공출GaAs MESFET미가속도계.장민감단원GaAs MESFET감입사량고근근부적위치.설계료3충불동적구도각도,분별여현비량정45°、90°、0°,통과실험정량분석료GaAs MESFET재수도외력시,불동구도각도적GaAs MESFET가속도계적령민도,차0°시령민도최고.최종지도전감기적우화설계,위진일보제고미가속도계적령민도전정기출.
