稀有金属
稀有金屬
희유금속
CHINESE JOURNAL OF RARE METALS
2012年
1期
120-123
,共4页
李宗峰%周旗钢%何自强%冯泉林%杜娟%刘斌
李宗峰%週旂鋼%何自彊%馮泉林%杜娟%劉斌
리종봉%주기강%하자강%풍천림%두연%류빈
直拉硅单晶%大直径%空洞型微缺陷%晶体原生粒子缺陷%高温退火
直拉硅單晶%大直徑%空洞型微缺陷%晶體原生粒子缺陷%高溫退火
직랍규단정%대직경%공동형미결함%정체원생입자결함%고온퇴화
研究了高温氩退火对大直径直拉硅单晶中晶体原生粒子缺陷(COP)的消除作用.分别在不同温度和保温时间下进行退火,然后利用表面扫描检测系统SPI测量退火前后硅片表面COP的密度变化,来表征退火对COP的消除作用.研究发现,在1200℃退火2h能够显著降低硅单晶表面区域的COP密度,并且随着退火时间的延长COP的密度降低得越多.然后,把所有的退火硅片抛去不同的厚度,检测COP在厚度上的分布,进而得出退火对COP消除的有效距离为0～10 μm.因此,可以得到高温氩退火只能够消除硅片表面的COP缺陷,而对于硅片内部的这些缺陷影响较小.
研究瞭高溫氬退火對大直徑直拉硅單晶中晶體原生粒子缺陷(COP)的消除作用.分彆在不同溫度和保溫時間下進行退火,然後利用錶麵掃描檢測繫統SPI測量退火前後硅片錶麵COP的密度變化,來錶徵退火對COP的消除作用.研究髮現,在1200℃退火2h能夠顯著降低硅單晶錶麵區域的COP密度,併且隨著退火時間的延長COP的密度降低得越多.然後,把所有的退火硅片拋去不同的厚度,檢測COP在厚度上的分佈,進而得齣退火對COP消除的有效距離為0～10 μm.因此,可以得到高溫氬退火隻能夠消除硅片錶麵的COP缺陷,而對于硅片內部的這些缺陷影響較小.
연구료고온아퇴화대대직경직랍규단정중정체원생입자결함(COP)적소제작용.분별재불동온도화보온시간하진행퇴화,연후이용표면소묘검측계통SPI측량퇴화전후규편표면COP적밀도변화,래표정퇴화대COP적소제작용.연구발현,재1200℃퇴화2h능구현저강저규단정표면구역적COP밀도,병차수착퇴화시간적연장COP적밀도강저득월다.연후,파소유적퇴화규편포거불동적후도,검측COP재후도상적분포,진이득출퇴화대COP소제적유효거리위0～10 μm.인차,가이득도고온아퇴화지능구소제규편표면적COP결함,이대우규편내부적저사결함영향교소.
