电子测量技术
電子測量技術
전자측량기술
ELECTRONIC MEASUREMENT TECHNOLOGY
2012年
6期
1-4
,共4页
贺晓雷%迟晓珠%唐胜武%赵佳龙
賀曉雷%遲曉珠%唐勝武%趙佳龍
하효뢰%지효주%당성무%조가룡
高精度%气压传感器%温度补偿%气象
高精度%氣壓傳感器%溫度補償%氣象
고정도%기압전감기%온도보상%기상
采用SOI( silicon-on-insulator)材料,设计并制作了双岛敏感结构,通过绝缘层隔离,消除PN结噪声,提高信噪比、线性度及重复性.利用敏感电阻的温度特性直接测量环境温度,进行温度补偿,提高了补偿的准确性,最后通过试验数据说明传感器的精度达到了气象使用要求.
採用SOI( silicon-on-insulator)材料,設計併製作瞭雙島敏感結構,通過絕緣層隔離,消除PN結譟聲,提高信譟比、線性度及重複性.利用敏感電阻的溫度特性直接測量環境溫度,進行溫度補償,提高瞭補償的準確性,最後通過試驗數據說明傳感器的精度達到瞭氣象使用要求.
채용SOI( silicon-on-insulator)재료,설계병제작료쌍도민감결구,통과절연층격리,소제PN결조성,제고신조비、선성도급중복성.이용민감전조적온도특성직접측량배경온도,진행온도보상,제고료보상적준학성,최후통과시험수거설명전감기적정도체도료기상사용요구.
