电子工业专用设备
電子工業專用設備
전자공업전용설비
EQUIPMENT FOR ELECTRONIC PRODUCTS MANUFACTURING
2012年
2期
5-8,47
,共5页
硅芯炉%速度控制系统%设计方案
硅芯爐%速度控製繫統%設計方案
규심로%속도공제계통%설계방안
Silicon Core Furnace%Speed Control System%Design Scheme
介绍了早期硅芯炉速度控制单元,此单元多采用直流伺服控制系统。由于其中间环节复杂,信号传输慢,易受干扰,长期使用稳定性差等问题,提出了几种速度控制系统改进方案。经实验验证,采用全数字交流伺服控制系统为最佳设计方案。
介紹瞭早期硅芯爐速度控製單元,此單元多採用直流伺服控製繫統。由于其中間環節複雜,信號傳輸慢,易受榦擾,長期使用穩定性差等問題,提齣瞭幾種速度控製繫統改進方案。經實驗驗證,採用全數字交流伺服控製繫統為最佳設計方案。
개소료조기규심로속도공제단원,차단원다채용직류사복공제계통。유우기중간배절복잡,신호전수만,역수간우,장기사용은정성차등문제,제출료궤충속도공제계통개진방안。경실험험증,채용전수자교류사복공제계통위최가설계방안。
This paper introduces the early silicon core furnace speed control unit,which use more DC Servo control system.Because the unit contains complex intermediate link,which slows the signal transmission,easily to be interfered,and has poor stability when it works long-term,the author proposed several kinds of speed control system improvement plan.The results of experiment indicates the Digital AC Servo control system is the best design.
