电子工业专用设备
電子工業專用設備
전자공업전용설비
EQUIPMENT FOR ELECTRONIC PRODUCTS MANUFACTURING
2011年
10期
37-40
,共4页
机械手%晶片%映射
機械手%晶片%映射
궤계수%정편%영사
Robot%Wafer%Mapping
介绍了晶片映射系统及其原理。该系统修正了机械手采用传统方式自动取片时执行效率低、料片状态无纠错功能的弊端,并详细论述了该系统的实现细节及算法。
介紹瞭晶片映射繫統及其原理。該繫統脩正瞭機械手採用傳統方式自動取片時執行效率低、料片狀態無糾錯功能的弊耑,併詳細論述瞭該繫統的實現細節及算法。
개소료정편영사계통급기원리。해계통수정료궤계수채용전통방식자동취편시집행효솔저、료편상태무규착공능적폐단,병상세논술료해계통적실현세절급산법。
Introduce Wafer Mapping System and its principle.The traditional system automatic running has lower efficiency and wafer state cannot detect.The new system fixes those faults.This article discusses the system implementation details and algorithm.
