牡丹江师范学院学报：自然科学版
牡丹江師範學院學報：自然科學版
모단강사범학원학보：자연과학판
Journal of Mudanjiang Teachers' College(Natural Sciences Edition)
2011年
3期
19-21
,共3页
姜兆炎%彭鸿雁%姜宏伟%尹龙承%胡巍
薑兆炎%彭鴻雁%薑宏偉%尹龍承%鬍巍
강조염%팽홍안%강굉위%윤룡승%호외
直流热阴极%PCVD%间歇式%硼酸三甲酯
直流熱陰極%PCVD%間歇式%硼痠三甲酯
직류열음겁%PCVD%간헐식%붕산삼갑지
采用直流热阴极等离子体化学气相沉积（直流热阴极PCVD）法，以硼酸三甲酯为硼源，通过金刚石膜的间歇式生长过程，制备硼掺杂纳米金刚石膜，研究不同的硼源流量对硼掺杂纳米金刚石膜的影响，并用扫描电子显微镜、拉曼光谱仪、X射线衍射仪对样品进行了表征．
採用直流熱陰極等離子體化學氣相沉積（直流熱陰極PCVD）法，以硼痠三甲酯為硼源，通過金剛石膜的間歇式生長過程，製備硼摻雜納米金剛石膜，研究不同的硼源流量對硼摻雜納米金剛石膜的影響，併用掃描電子顯微鏡、拉曼光譜儀、X射線衍射儀對樣品進行瞭錶徵．
채용직류열음겁등리자체화학기상침적（직류열음겁PCVD）법，이붕산삼갑지위붕원，통과금강석막적간헐식생장과정，제비붕참잡납미금강석막，연구불동적붕원류량대붕참잡납미금강석막적영향，병용소묘전자현미경、랍만광보의、X사선연사의대양품진행료표정．
