TiAlON系薄膜材料的椭偏研究
TiAlON계박막재료적타편연구
Ellipsometric study of TiAlON-based film
  • 万方数据
    应用光学 응용광학
    JOURNAL OF APPLIED OPTICS
    2011年 6期 1202-1205 ,共4页

    刘文德%陈赤%杜淼%郝雷%徐英莹%樊其明%张静

    류문덕%진적%두묘%학뢰%서영형%번기명%장정

    TiAlON薄膜%光谱椭偏术%Lorentz模型%Cauchy模型%Tauc-Lorentz模型 TiAlON薄膜%光譜橢偏術%Lorentz模型%Cauchy模型%Tauc-Lorentz模型
    TiAlON박막%광보타편술%Lorentz모형%Cauchy모형%Tauc-Lorentz모형
    对新型太阳能用薄膜材料TiAlON材料进行了椭偏研究.采用Cauchy,Lorentz和Tauc Lorentz模型对绝缘性TiAlON薄膜的椭偏测量结果进行了模拟,得到了薄膜的光学常数.通过比较色散模型及薄膜结构在不同波段的应用情况,说明Tauc Lorentz模型更适合于从紫外到近红外宽光谱的拟合.结果表明光谱椭偏术可以作为表征TiAlON材料系的可靠手段,是进一步表征多层膜系光学性质的基础.
    대신형태양능용박막재료TiAlON재료진행료타편연구.채용Cauchy,Lorentz화Tauc Lorentz모형대절연성TiAlON박막적타편측량결과진행료모의,득도료박막적광학상수.통과비교색산모형급박막결구재불동파단적응용정황,설명Tauc Lorentz모형경괄합우종자외도근홍외관광보적의합.결과표명광보타편술가이작위표정TiAlON재료계적가고수단,시진일보표정다층막계광학성질적기출.
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