中国电力教育
中國電力教育
중국전력교육
CHINA ELECTRIC POWER EDUCATION
2011年
15期
179-180
,共2页
陶兰初%樊振军%刘育%李素云
陶蘭初%樊振軍%劉育%李素雲
도란초%번진군%류육%리소운
磁控溅射%铌膜%超导特性
磁控濺射%鈮膜%超導特性
자공천사%니막%초도특성
介绍了磁控溅射镀膜技术和参数变化对Nb膜表面形貌、内部应力、超导特性的影响.探讨了制备高质量铌膜所需的最佳溅射参数.
介紹瞭磁控濺射鍍膜技術和參數變化對Nb膜錶麵形貌、內部應力、超導特性的影響.探討瞭製備高質量鈮膜所需的最佳濺射參數.
개소료자공천사도막기술화삼수변화대Nb막표면형모、내부응력、초도특성적영향.탐토료제비고질량니막소수적최가천사삼수.
