真空与低温
真空與低溫
진공여저온
VACUUM AND CRYOGENICS
2011年
1期
53-57,62
,共6页
梁平%李杰%戴佳鑫%干蜀毅
樑平%李傑%戴佳鑫%榦蜀毅
량평%리걸%대가흠%간촉의
真空计%真空测量%微机电系统%电容薄膜真空计
真空計%真空測量%微機電繫統%電容薄膜真空計
진공계%진공측량%미궤전계통%전용박막진공계
真空计量器具被广泛应用于各科学实验领域,种类繁多,样式各异.真空计的微型化是其主要发展趋势.概述了真空计的发展历程,重点对近年来真空计的最新发展作了梳理,并提出了某些特殊环境下真空度测量方法的构想.
真空計量器具被廣汎應用于各科學實驗領域,種類繁多,樣式各異.真空計的微型化是其主要髮展趨勢.概述瞭真空計的髮展歷程,重點對近年來真空計的最新髮展作瞭梳理,併提齣瞭某些特殊環境下真空度測量方法的構想.
진공계량기구피엄범응용우각과학실험영역,충류번다,양식각이.진공계적미형화시기주요발전추세.개술료진공계적발전역정,중점대근년래진공계적최신발전작료소리,병제출료모사특수배경하진공도측량방법적구상.
