压电与声光
壓電與聲光
압전여성광
PIEZOELECTRICS & ACOUSTOOPTICS
2010年
3期
429-432
,共4页
范茂彦%姜胜林%谢甜甜%张光祖%张丽芳
範茂彥%薑勝林%謝甜甜%張光祖%張麗芳
범무언%강성림%사첨첨%장광조%장려방
溶胶-凝胶(Sol-Gel)法%Mn掺杂%钛酸锶钡(BST)厚膜%组分梯度%介电性能
溶膠-凝膠(Sol-Gel)法%Mn摻雜%鈦痠鍶鋇(BST)厚膜%組分梯度%介電性能
용효-응효(Sol-Gel)법%Mn참잡%태산송패(BST)후막%조분제도%개전성능
钛酸锶钡(BST)组分梯度多层厚膜具有较好的综合介电性能,包括适中的介电常数、高的介电温度系数、低的介质损耗等,日益成为红外探测器、微波调制器件的重要候选厚膜材料.采用改进的溶胶-凝胶(Sol-Gel)法在Pt/Ti/SiO2/Si基片上制备Mn掺杂6层不同组分梯度BST厚膜.厚约5 μm.研究了梯度BST厚膜的微观结构及其介电性能.X-射线衍射(XRD)分析表明,当热处理温度为750℃时,得到完整钙钛矿结构的厚膜材料.扫描电镜(SEM)电镜显示,厚膜表面晶粒大小均匀,排列紧密,致密性好,梯度BST厚膜的介电峰温区覆盖常温,介电常数峰值为920,介电损耗约为1.8×10-2.
鈦痠鍶鋇(BST)組分梯度多層厚膜具有較好的綜閤介電性能,包括適中的介電常數、高的介電溫度繫數、低的介質損耗等,日益成為紅外探測器、微波調製器件的重要候選厚膜材料.採用改進的溶膠-凝膠(Sol-Gel)法在Pt/Ti/SiO2/Si基片上製備Mn摻雜6層不同組分梯度BST厚膜.厚約5 μm.研究瞭梯度BST厚膜的微觀結構及其介電性能.X-射線衍射(XRD)分析錶明,噹熱處理溫度為750℃時,得到完整鈣鈦礦結構的厚膜材料.掃描電鏡(SEM)電鏡顯示,厚膜錶麵晶粒大小均勻,排列緊密,緻密性好,梯度BST厚膜的介電峰溫區覆蓋常溫,介電常數峰值為920,介電損耗約為1.8×10-2.
태산송패(BST)조분제도다층후막구유교호적종합개전성능,포괄괄중적개전상수、고적개전온도계수、저적개질손모등,일익성위홍외탐측기、미파조제기건적중요후선후막재료.채용개진적용효-응효(Sol-Gel)법재Pt/Ti/SiO2/Si기편상제비Mn참잡6층불동조분제도BST후막.후약5 μm.연구료제도BST후막적미관결구급기개전성능.X-사선연사(XRD)분석표명,당열처리온도위750℃시,득도완정개태광결구적후막재료.소묘전경(SEM)전경현시,후막표면정립대소균균,배렬긴밀,치밀성호,제도BST후막적개전봉온구복개상온,개전상수봉치위920,개전손모약위1.8×10-2.
