压电与声光
壓電與聲光
압전여성광
PIEZOELECTRICS & ACOUSTOOPTICS
2010年
3期
340-342,345
,共4页
赵以贵%刘明%牛洁斌%陈宝钦
趙以貴%劉明%牛潔斌%陳寶欽
조이귀%류명%우길빈%진보흠
电子束光刻%剥离%声表面波延迟线%叉指换能器
電子束光刻%剝離%聲錶麵波延遲線%扠指換能器
전자속광각%박리%성표면파연지선%차지환능기
电子束光刻(EBL)具有高的分辨率,能制备具有亚微米尺寸的声表面波(SAW)器件.一种采用EBL技术制备用于气体传感器的具有亚微米尺寸的SAW延迟线的方法:首先利用EBL在压电衬底上获得叉指换能器(IDT)的电子抗蚀剂图形;然后用剥离工艺制作出IDT电极.通过邻近效应校正和提高场拼接精度,制作的叉指电极具有一致性,电极形貌好.相对于干法刻蚀工艺,剥离工艺避免了对压电衬底表面的物理损伤.该技术为实现特征尺寸达到百纳米级的更高工作频率SAW器件的制造提供了很好的途径.
電子束光刻(EBL)具有高的分辨率,能製備具有亞微米呎吋的聲錶麵波(SAW)器件.一種採用EBL技術製備用于氣體傳感器的具有亞微米呎吋的SAW延遲線的方法:首先利用EBL在壓電襯底上穫得扠指換能器(IDT)的電子抗蝕劑圖形;然後用剝離工藝製作齣IDT電極.通過鄰近效應校正和提高場拼接精度,製作的扠指電極具有一緻性,電極形貌好.相對于榦法刻蝕工藝,剝離工藝避免瞭對壓電襯底錶麵的物理損傷.該技術為實現特徵呎吋達到百納米級的更高工作頻率SAW器件的製造提供瞭很好的途徑.
전자속광각(EBL)구유고적분변솔,능제비구유아미미척촌적성표면파(SAW)기건.일충채용EBL기술제비용우기체전감기적구유아미미척촌적SAW연지선적방법:수선이용EBL재압전츤저상획득차지환능기(IDT)적전자항식제도형;연후용박리공예제작출IDT전겁.통과린근효응교정화제고장병접정도,제작적차지전겁구유일치성,전겁형모호.상대우간법각식공예,박리공예피면료대압전츤저표면적물리손상.해기술위실현특정척촌체도백납미급적경고공작빈솔SAW기건적제조제공료흔호적도경.
