应用激光
應用激光
응용격광
APPLIED LASER
2008年
6期
508-510
,共3页
姜兆华%张伟%王尧%吴滨%印伟峨
薑兆華%張偉%王堯%吳濱%印偉峨
강조화%장위%왕요%오빈%인위아
激光全息%光刻胶%自动显影%终点检测%全息设备
激光全息%光刻膠%自動顯影%終點檢測%全息設備
격광전식%광각효%자동현영%종점검측%전식설비
为了均匀显影大幅面激光全息光刻胶板,获得最佳衍射效果,使用自动喷淋显影工艺技术.文章讨论了显影方法及工艺对显影槽深均匀性的影响,包括激光的曝光能量,显影药液的浓度、温度、时间及胶板入液先后时间.通过多种显影方法比较,自动喷淋显影可以克服人工显影操作引起的时间、平稳性误差导致大幅面全息光刻胶母版显影不均匀、光栅槽型、终点控制和重复性差等缺陷,获得最佳显影效果.
為瞭均勻顯影大幅麵激光全息光刻膠闆,穫得最佳衍射效果,使用自動噴淋顯影工藝技術.文章討論瞭顯影方法及工藝對顯影槽深均勻性的影響,包括激光的曝光能量,顯影藥液的濃度、溫度、時間及膠闆入液先後時間.通過多種顯影方法比較,自動噴淋顯影可以剋服人工顯影操作引起的時間、平穩性誤差導緻大幅麵全息光刻膠母版顯影不均勻、光柵槽型、終點控製和重複性差等缺陷,穫得最佳顯影效果.
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