CMOS SnO2气体传感器模型与热仿真
CMOS SnO2기체전감기모형여열방진
Model for CMOS SnO2 gas sensor and heating simulation
  • 万方数据
    传感器与微系统 전감기여미계통
    TRANSDUCER AND MICROSYSTEM TECHNOLOGY
    2008年 4期 71-73 ,共3页

    席彩红%刘肃

    석채홍%류숙

    SnO2气体传感器%肖特基势垒%Freundlich等温吸附 SnO2氣體傳感器%肖特基勢壘%Freundlich等溫吸附
    SnO2기체전감기%초특기세루%Freundlich등온흡부
    为了分析CMOS SnO2气体传感器的工作,有必要建立合适的模型,采用晶粒边界的肖特基势垒模型和固体表面对气体的Freundlich等温吸附很好地解释了SnO2的电导与检测气体体积分数工作温度之间的关系,利用ANSYS 7.0对实际设计的传感器进行了热仿真,这便于在CMOS后加工工艺中很好地对其控制.
    위료분석CMOS SnO2기체전감기적공작,유필요건립합괄적모형,채용정립변계적초특기세루모형화고체표면대기체적Freundlich등온흡부흔호지해석료SnO2적전도여검측기체체적분수공작온도지간적관계,이용ANSYS 7.0대실제설계적전감기진행료열방진,저편우재CMOS후가공공예중흔호지대기공제.
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