CAJ | 학술논문

高精度的预对准是设计现代光刻机硅片传输系统需要解决的核心问题之一.首先介绍了预对准单元的设计及实现:预对准机构包括旋转台、对心台和升降台,采用线阵CCD作为传感器进行硅片边缘检测,采用圆拟合方法进行硅片圆心和缺口的定位,对预对准方法的有效性进行了试验验证.然后,给出了硅片传输系统的构成和控制流程,并对系统定位另一个关键部分计算硅片偏心的-重定位环节进行了简要介绍.最后,给出了输片重复精度的试验结果.试验结果表明,在此预对准单元基础上实现的硅片传输系统可以有效提高输片精度.
고정도적예대준시설계현대광각궤규편전수계통수요해결적핵심문제지일.수선개소료예대준단원적설계급실현:예대준궤구포괄선전태、대심태화승강태,채용선진CCD작위전감기진행규편변연검측,채용원의합방법진행규편원심화결구적정위,대예대준방법적유효성진행료시험험증.연후,급출료규편전수계통적구성화공제류정,병대계통정위령일개관건부분계산규편편심적-중정위배절진행료간요개소.최후,급출료수편중복정도적시험결과.시험결과표명,재차예대준단원기출상실현적규편전수계통가이유효제고수편정도.