传感技术学报
傳感技術學報
전감기술학보
Journal of Transduction Technology
2008年
3期
454-456
,共3页
石云波%孟美玉%刘俊%马宗敏
石雲波%孟美玉%劉俊%馬宗敏
석운파%맹미옥%류준%마종민
压阻式%三轴%SOI%工艺
壓阻式%三軸%SOI%工藝
압조식%삼축%SOI%공예
为了解决现有三轴加速度计机械精度差的问题,提出了一种基于SOI的单质量块三轴压阻微加速度计.采用四边四梁结构,根据梁上扩散的压敏电阻在分别受到三个方向惯性力作用时变化量不同设计三个方向的惠斯通电桥,实现三维加速度矢量的检测.运用ANSYS软件对结构进行建模仿真,最后设计了一套可行的工艺流程.
為瞭解決現有三軸加速度計機械精度差的問題,提齣瞭一種基于SOI的單質量塊三軸壓阻微加速度計.採用四邊四樑結構,根據樑上擴散的壓敏電阻在分彆受到三箇方嚮慣性力作用時變化量不同設計三箇方嚮的惠斯通電橋,實現三維加速度矢量的檢測.運用ANSYS軟件對結構進行建模倣真,最後設計瞭一套可行的工藝流程.
위료해결현유삼축가속도계궤계정도차적문제,제출료일충기우SOI적단질량괴삼축압조미가속도계.채용사변사량결구,근거량상확산적압민전조재분별수도삼개방향관성력작용시변화량불동설계삼개방향적혜사통전교,실현삼유가속도시량적검측.운용ANSYS연건대결구진행건모방진,최후설계료일투가행적공예류정.
