光电工程
光電工程
광전공정
OPTO-ELECTRONIC ENGINEERING
2007年
11期
50-54,60
,共6页
刘强%张晓波%邬融%田杨超%李永平
劉彊%張曉波%鄔融%田楊超%李永平
류강%장효파%오융%전양초%리영평
衍射光学元件%误差面形%掩模套刻%离子束刻蚀
衍射光學元件%誤差麵形%掩模套刻%離子束刻蝕
연사광학원건%오차면형%엄모투각%리자속각식
针对衍射光学元件(DOE)的离子束刻蚀工艺,结合掩模套刻过程实例,本文提出了刻蚀误差面形分布的概念.在标量衍射的夫琅和费原理上,进行了误差数值模拟分析及讨论.模拟分析和实验数据结果表明,误差的面形分布在DOE器件的衍射焦斑中心会产生一个明显的光强畸变毛刺亮点,严重破坏了靶场照明的均匀性.
針對衍射光學元件(DOE)的離子束刻蝕工藝,結閤掩模套刻過程實例,本文提齣瞭刻蝕誤差麵形分佈的概唸.在標量衍射的伕瑯和費原理上,進行瞭誤差數值模擬分析及討論.模擬分析和實驗數據結果錶明,誤差的麵形分佈在DOE器件的衍射焦斑中心會產生一箇明顯的光彊畸變毛刺亮點,嚴重破壞瞭靶場照明的均勻性.
침대연사광학원건(DOE)적리자속각식공예,결합엄모투각과정실례,본문제출료각식오차면형분포적개념.재표량연사적부랑화비원리상,진행료오차수치모의분석급토론.모의분석화실험수거결과표명,오차적면형분포재DOE기건적연사초반중심회산생일개명현적광강기변모자량점,엄중파배료파장조명적균균성.
