X射线在超晶格材料衍射中的相干性分析
X사선재초정격재료연사중적상간성분석
Coherent Analysis of X-Ray Diffraction on Superlattice Material
  • 万方数据
    半导体技术 반도체기술
    SEMICONDUCTOR TECHNOLOGY
    2007年 12期 1042-1044,1081 ,共4页

    马永强%武一宾%杨瑞霞%李若凡%商耀辉%牛晨亮%卜夏正%王建峰

    마영강%무일빈%양서하%리약범%상요휘%우신량%복하정%왕건봉

    超晶格%分子束外延%X射线双晶衍射%相干长度 超晶格%分子束外延%X射線雙晶衍射%相榦長度
    초정격%분자속외연%X사선쌍정연사%상간장도
    X射线双晶衍射仪系统中受参考晶体分辨率等因素的影响,X射线的相干长度不超过1 μm.X射线在异质外延晶体材料内衍射时,不超过相干长度范围内厚度外延层中的衍射波会产生相干叠加,否则,产生非相干叠加.分子束外延(MBE)生长了短周期InGaAs/GaAs超晶格,在其摇摆曲线中观察到显示X射线在超晶格结构中衍射相干特征的多级卫星峰及Pendell(o)song干涉条纹,并利用相干光理论对超晶格结构信息诸如周期及"0"级峰位置等进行了分析.
    X사선쌍정연사의계통중수삼고정체분변솔등인소적영향,X사선적상간장도불초과1 μm.X사선재이질외연정체재료내연사시,불초과상간장도범위내후도외연층중적연사파회산생상간첩가,부칙,산생비상간첩가.분자속외연(MBE)생장료단주기InGaAs/GaAs초정격,재기요파곡선중관찰도현시X사선재초정격결구중연사상간특정적다급위성봉급Pendell(o)song간섭조문,병이용상간광이론대초정격결구신식제여주기급"0"급봉위치등진행료분석.
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