微纳电子技术
微納電子技術
미납전자기술
MICRONANOELECTRONIC TECHNOLOGY
2007年
7期
45-47
,共3页
甄志成%胡明%杨海波%吕宇强
甄誌成%鬍明%楊海波%呂宇彊
견지성%호명%양해파%려우강
微机电系统%微桥结构%微测辐射热计%红外成像
微機電繫統%微橋結構%微測輻射熱計%紅外成像
미궤전계통%미교결구%미측복사열계%홍외성상
根据微加工条件能够制造的单层和双层结构的非制冷红外微测辐射热计的尺寸,进行了有限元建模与分析,寻找出在可接受的性能与成本之间折衷的设计方案,指出气体热导是影响探测单元热导的一个主要因素,并对其进行了理论分析,给出减小气体热导的方法及这些方法在双层及单层结构中应用的可行性.
根據微加工條件能夠製造的單層和雙層結構的非製冷紅外微測輻射熱計的呎吋,進行瞭有限元建模與分析,尋找齣在可接受的性能與成本之間摺衷的設計方案,指齣氣體熱導是影響探測單元熱導的一箇主要因素,併對其進行瞭理論分析,給齣減小氣體熱導的方法及這些方法在雙層及單層結構中應用的可行性.
근거미가공조건능구제조적단층화쌍층결구적비제랭홍외미측복사열계적척촌,진행료유한원건모여분석,심조출재가접수적성능여성본지간절충적설계방안,지출기체열도시영향탐측단원열도적일개주요인소,병대기진행료이론분석,급출감소기체열도적방법급저사방법재쌍층급단층결구중응용적가행성.
