微纳电子技术
微納電子技術
미납전자기술
MICRONANOELECTRONIC TECHNOLOGY
2007年
7期
457-460
,共4页
金仁成%陈涛%张五金%唐祯安
金仁成%陳濤%張五金%唐禎安
금인성%진도%장오금%당정안
微气压传感器%真空度平衡%实时控制%模糊PID控制
微氣壓傳感器%真空度平衡%實時控製%模糊PID控製
미기압전감기%진공도평형%실시공제%모호PID공제
针对微热板式微气压传感器的动、静态性能测试,建立了一套保持真空度稳定的控制系统.参考MATLAB的仿真结果,分别采用模糊控制与模糊PID控制算法设计出控制器,对传感器测试系统的真空度进行了实时控制研究,探讨并分析了真空度动态平衡的控制问题.结果显示,调整系统控制量的模糊PID控制稳态误差小、鲁棒性比较好,可以有效地对测试环境进行真空度调节和设置,能够解决传感器所需气压测试环境10～1000Pa的实时气压控制问题.
針對微熱闆式微氣壓傳感器的動、靜態性能測試,建立瞭一套保持真空度穩定的控製繫統.參攷MATLAB的倣真結果,分彆採用模糊控製與模糊PID控製算法設計齣控製器,對傳感器測試繫統的真空度進行瞭實時控製研究,探討併分析瞭真空度動態平衡的控製問題.結果顯示,調整繫統控製量的模糊PID控製穩態誤差小、魯棒性比較好,可以有效地對測試環境進行真空度調節和設置,能夠解決傳感器所需氣壓測試環境10～1000Pa的實時氣壓控製問題.
침대미열판식미기압전감기적동、정태성능측시,건립료일투보지진공도은정적공제계통.삼고MATLAB적방진결과,분별채용모호공제여모호PID공제산법설계출공제기,대전감기측시계통적진공도진행료실시공제연구,탐토병분석료진공도동태평형적공제문제.결과현시,조정계통공제량적모호PID공제은태오차소、로봉성비교호,가이유효지대측시배경진행진공도조절화설치,능구해결전감기소수기압측시배경10～1000Pa적실시기압공제문제.
