红外与激光工程
紅外與激光工程
홍외여격광공정
INFRARED AND LASER ENGINEERING
2007年
5期
671-674
,共4页
黄承超%徐垚%王占山%陈玲燕%田扬超%刘刚
黃承超%徐垚%王佔山%陳玲燕%田颺超%劉剛
황승초%서요%왕점산%진령연%전양초%류강
抛物形折射透镜%X射线%聚焦%X射线衍射仪%SU-8%紫外光刻
拋物形摺射透鏡%X射線%聚焦%X射線衍射儀%SU-8%紫外光刻
포물형절사투경%X사선%취초%X사선연사의%SU-8%자외광각
作为应用于第三代同步辐射光源的一种重要X射线元件,复合折射透镜成为近年来X射线光学研究的热点之一.平面抛物形折射透镜是复合折射透镜的重要一种.研究过程中,考虑到X射线衍射仪的特定检测环境及随后加工上的技术要求,优化设计了透镜各个参数,用ZEMAX软件对透镜进行光线追迹,模拟验证了设计结果.单组透镜的几何孔径为250 μm,焦距为30 cm.共设计30组透镜,透镜个数从1个变化到30个,相应的抛物形顶点处的曲率半径从1.23μm变化到37μm.在光子能量为8.05 keV条件下,透镜的理论透过率从43.3%变化到33.2%.焦斑直径均在微米量级.采用紫外光刻微加工技术,制作了SU-8光刻胶平面抛物形折射透镜.透镜厚度为224 μm.透镜光学性能的测试正在进行中.
作為應用于第三代同步輻射光源的一種重要X射線元件,複閤摺射透鏡成為近年來X射線光學研究的熱點之一.平麵拋物形摺射透鏡是複閤摺射透鏡的重要一種.研究過程中,攷慮到X射線衍射儀的特定檢測環境及隨後加工上的技術要求,優化設計瞭透鏡各箇參數,用ZEMAX軟件對透鏡進行光線追跡,模擬驗證瞭設計結果.單組透鏡的幾何孔徑為250 μm,焦距為30 cm.共設計30組透鏡,透鏡箇數從1箇變化到30箇,相應的拋物形頂點處的麯率半徑從1.23μm變化到37μm.在光子能量為8.05 keV條件下,透鏡的理論透過率從43.3%變化到33.2%.焦斑直徑均在微米量級.採用紫外光刻微加工技術,製作瞭SU-8光刻膠平麵拋物形摺射透鏡.透鏡厚度為224 μm.透鏡光學性能的測試正在進行中.
작위응용우제삼대동보복사광원적일충중요X사선원건,복합절사투경성위근년래X사선광학연구적열점지일.평면포물형절사투경시복합절사투경적중요일충.연구과정중,고필도X사선연사의적특정검측배경급수후가공상적기술요구,우화설계료투경각개삼수,용ZEMAX연건대투경진행광선추적,모의험증료설계결과.단조투경적궤하공경위250 μm,초거위30 cm.공설계30조투경,투경개수종1개변화도30개,상응적포물형정점처적곡솔반경종1.23μm변화도37μm.재광자능량위8.05 keV조건하,투경적이론투과솔종43.3%변화도33.2%.초반직경균재미미량급.채용자외광각미가공기술,제작료SU-8광각효평면포물형절사투경.투경후도위224 μm.투경광학성능적측시정재진행중.
