包装工程
包裝工程
포장공정
PACKAGING ENGINEERING
2007年
8期
40-42
,共3页
霍纯青%陈强%孙运金%岳蕾%张跃飞%刘福平
霍純青%陳彊%孫運金%嶽蕾%張躍飛%劉福平
곽순청%진강%손운금%악뢰%장약비%류복평
直流反应磁控溅射%SiO2-Al2O3薄膜%阻隔性
直流反應磁控濺射%SiO2-Al2O3薄膜%阻隔性
직류반응자공천사%SiO2-Al2O3박막%조격성
采用磁控溅射技术以10%Si～90%Al合金为靶材,通入O2将Si氧化成SiO2,Al氧化成Al2O3,在普通PET薄膜表面制备具有高阻隔性无机阻隔薄膜层,以增加其阻隔性.传统的磁控溅射法制备SiO2膜工艺,大多采用射频溅射法,但其成本较高,效率较低,无法充分满足大面积工业化镀膜生产的需要.而采用10%Si～90%Al合金不仅可以实现直流溅射工艺,而且测量结果表明,薄膜的阻隔性得到大幅度提高.
採用磁控濺射技術以10%Si～90%Al閤金為靶材,通入O2將Si氧化成SiO2,Al氧化成Al2O3,在普通PET薄膜錶麵製備具有高阻隔性無機阻隔薄膜層,以增加其阻隔性.傳統的磁控濺射法製備SiO2膜工藝,大多採用射頻濺射法,但其成本較高,效率較低,無法充分滿足大麵積工業化鍍膜生產的需要.而採用10%Si～90%Al閤金不僅可以實現直流濺射工藝,而且測量結果錶明,薄膜的阻隔性得到大幅度提高.
채용자공천사기술이10%Si～90%Al합금위파재,통입O2장Si양화성SiO2,Al양화성Al2O3,재보통PET박막표면제비구유고조격성무궤조격박막층,이증가기조격성.전통적자공천사법제비SiO2막공예,대다채용사빈천사법,단기성본교고,효솔교저,무법충분만족대면적공업화도막생산적수요.이채용10%Si～90%Al합금불부가이실현직류천사공예,이차측량결과표명,박막적조격성득도대폭도제고.
