材料导报
材料導報
재료도보
MATERIALS REVIEW
2007年
z2期
19-20,23
,共3页
徐幸梓%张力%曾丁丁%陈玉安%韩志范
徐倖梓%張力%曾丁丁%陳玉安%韓誌範
서행재%장력%증정정%진옥안%한지범
化学气相沉积%化学刻蚀%溅射刻蚀%脱氢
化學氣相沉積%化學刻蝕%濺射刻蝕%脫氫
화학기상침적%화학각식%천사각식%탈경
化学气相沉积是目前广泛用于制备碳材料如纳米金刚石、碳纳米管、碳纳米尖端等材料的技术.在制备这些碳材料时,氢气是一种主要的反应气体,它形成的原子氢或离子氢在材料生长过程中对所形成的碳材料具有刻蚀作用,以及与碳材料表面上或内部的氢作用发生脱氢反应.但在不同的条件下,氢表现出刻蚀作用或脱氢作用.总结了氢在不同条件下的作用,提出了一些生长高质量碳材料的方法.
化學氣相沉積是目前廣汎用于製備碳材料如納米金剛石、碳納米管、碳納米尖耑等材料的技術.在製備這些碳材料時,氫氣是一種主要的反應氣體,它形成的原子氫或離子氫在材料生長過程中對所形成的碳材料具有刻蝕作用,以及與碳材料錶麵上或內部的氫作用髮生脫氫反應.但在不同的條件下,氫錶現齣刻蝕作用或脫氫作用.總結瞭氫在不同條件下的作用,提齣瞭一些生長高質量碳材料的方法.
화학기상침적시목전엄범용우제비탄재료여납미금강석、탄납미관、탄납미첨단등재료적기술.재제비저사탄재료시,경기시일충주요적반응기체,타형성적원자경혹리자경재재료생장과정중대소형성적탄재료구유각식작용,이급여탄재료표면상혹내부적경작용발생탈경반응.단재불동적조건하,경표현출각식작용혹탈경작용.총결료경재불동조건하적작용,제출료일사생장고질량탄재료적방법.
