计测技术
計測技術
계측기술
METROLOGY & MEASUREMENT TECHNOLOGY
2006年
z1期
64-66
,共3页
祁明锋%杜为民%王利利%薛西军
祁明鋒%杜為民%王利利%薛西軍
기명봉%두위민%왕리리%설서군
甲烷%低功耗%气敏元件
甲烷%低功耗%氣敏元件
갑완%저공모%기민원건
甲烷气体通常需要在较高的工作温度下工作,要达到这个工作温度区间,元件体电阻越大,功耗也就越大;要降低功耗,就要降低元件体电阻.本文所述元件是在SnO2敏感膜材料中掺入Pd,Sb2O3,Al2O3等添加剂,制成微珠式元件,从而大大降低了元件的体电阻,设计出一种低功耗CH4气敏元件.此种元件在低于150 mW的加热功率下,在5000×10-6的CH4气氛中灵敏度可达到3以上,响应时间小于10 s,且具有良好的选择性和稳定性.
甲烷氣體通常需要在較高的工作溫度下工作,要達到這箇工作溫度區間,元件體電阻越大,功耗也就越大;要降低功耗,就要降低元件體電阻.本文所述元件是在SnO2敏感膜材料中摻入Pd,Sb2O3,Al2O3等添加劑,製成微珠式元件,從而大大降低瞭元件的體電阻,設計齣一種低功耗CH4氣敏元件.此種元件在低于150 mW的加熱功率下,在5000×10-6的CH4氣氛中靈敏度可達到3以上,響應時間小于10 s,且具有良好的選擇性和穩定性.
갑완기체통상수요재교고적공작온도하공작,요체도저개공작온도구간,원건체전조월대,공모야취월대;요강저공모,취요강저원건체전조.본문소술원건시재SnO2민감막재료중참입Pd,Sb2O3,Al2O3등첨가제,제성미주식원건,종이대대강저료원건적체전조,설계출일충저공모CH4기민원건.차충원건재저우150 mW적가열공솔하,재5000×10-6적CH4기분중령민도가체도3이상,향응시간소우10 s,차구유량호적선택성화은정성.
