传感器世界
傳感器世界
전감기세계
SENSOR WORLD
2006年
11期
11-13
,共3页
乔学光%李婷%王宏亮%贾振安%刘钦朋%王向宇
喬學光%李婷%王宏亮%賈振安%劉欽朋%王嚮宇
교학광%리정%왕굉량%가진안%류흠붕%왕향우
应变式压力传感器%单晶硅%电阻应变片
應變式壓力傳感器%單晶硅%電阻應變片
응변식압력전감기%단정규%전조응변편
电阻应变式传感器在实际工程中应用较广,本文提出了一种基于单晶硅材料的柱式电阻应变式压力传感器,实验中,将应变片分别轴向、环向和斜45°粘在弹性元件上,应变灵敏度分别为0.0063με/MPa、0.0141με/MPa和0.0095με/MPa,实验表明此种材料的电阻应变式压力传感器的不仅线性好达到0.99而且重复性和稳定性也非常好,有好的实际应用前景.
電阻應變式傳感器在實際工程中應用較廣,本文提齣瞭一種基于單晶硅材料的柱式電阻應變式壓力傳感器,實驗中,將應變片分彆軸嚮、環嚮和斜45°粘在彈性元件上,應變靈敏度分彆為0.0063με/MPa、0.0141με/MPa和0.0095με/MPa,實驗錶明此種材料的電阻應變式壓力傳感器的不僅線性好達到0.99而且重複性和穩定性也非常好,有好的實際應用前景.
전조응변식전감기재실제공정중응용교엄,본문제출료일충기우단정규재료적주식전조응변식압력전감기,실험중,장응변편분별축향、배향화사45°점재탄성원건상,응변령민도분별위0.0063με/MPa、0.0141με/MPa화0.0095με/MPa,실험표명차충재료적전조응변식압력전감기적불부선성호체도0.99이차중복성화은정성야비상호,유호적실제응용전경.
