传感技术学报
傳感技術學報
전감기술학보
Journal of Transduction Technology
2006年
5期
1523-1526
,共4页
秦江%杜立群%刘冲%朱神渺
秦江%杜立群%劉遲%硃神渺
진강%두립군%류충%주신묘
SU-8胶%菲涅耳衍射%尺寸公差%紫外光刻
SU-8膠%菲涅耳衍射%呎吋公差%紫外光刻
SU-8효%비열이연사%척촌공차%자외광각
对SU-8胶微结构的尺寸及其公差进行了定量研究.在考虑了SU-8的吸收系数和折射系数对紫外光刻尺寸精度影响的基础上,根据菲涅耳衍射理论建立了紫外曝光改进模型和尺寸公差模型,对SU-8微结构的尺寸及其公差进行数值模拟.以硅为基底,进行了SU-8胶紫外光刻的实验研究.实验中掩模的特征宽度分别取50 μm、100μm、200μm和400 μm,SU-8胶表面的曝光剂量分别取400mJ/cm2和800mJ/cm2,测量了SU-8胶微结构的顶部线宽、底部线宽和SU-8胶的厚度,数值模拟结果与实验结果基本吻合.可以用本文的模型来预测SU-8微结构的尺寸及其公差.
對SU-8膠微結構的呎吋及其公差進行瞭定量研究.在攷慮瞭SU-8的吸收繫數和摺射繫數對紫外光刻呎吋精度影響的基礎上,根據菲涅耳衍射理論建立瞭紫外曝光改進模型和呎吋公差模型,對SU-8微結構的呎吋及其公差進行數值模擬.以硅為基底,進行瞭SU-8膠紫外光刻的實驗研究.實驗中掩模的特徵寬度分彆取50 μm、100μm、200μm和400 μm,SU-8膠錶麵的曝光劑量分彆取400mJ/cm2和800mJ/cm2,測量瞭SU-8膠微結構的頂部線寬、底部線寬和SU-8膠的厚度,數值模擬結果與實驗結果基本吻閤.可以用本文的模型來預測SU-8微結構的呎吋及其公差.
대SU-8효미결구적척촌급기공차진행료정량연구.재고필료SU-8적흡수계수화절사계수대자외광각척촌정도영향적기출상,근거비열이연사이론건립료자외폭광개진모형화척촌공차모형,대SU-8미결구적척촌급기공차진행수치모의.이규위기저,진행료SU-8효자외광각적실험연구.실험중엄모적특정관도분별취50 μm、100μm、200μm화400 μm,SU-8효표면적폭광제량분별취400mJ/cm2화800mJ/cm2,측량료SU-8효미결구적정부선관、저부선관화SU-8효적후도,수치모의결과여실험결과기본문합.가이용본문적모형래예측SU-8미결구적척촌급기공차.
