光电子技术与信息
光電子技術與信息
광전자기술여신식
OPTOELECTRONIC TECHNOLOGY & INFORMATION
2005年
5期
26-29
,共4页
周建华%游佰强%陈振兴%肖磊%王静
週建華%遊佰彊%陳振興%肖磊%王靜
주건화%유백강%진진흥%초뢰%왕정
聚合物薄膜%椭圆偏振仪%折射率%膜厚
聚閤物薄膜%橢圓偏振儀%摺射率%膜厚
취합물박막%타원편진의%절사솔%막후
针对聚合物PMMA改性光波导研制的需求,自建了一台变入射角、开放光路、适用范围更广的椭偏测试仪.通过实际测量聚合物PMMA改性薄膜,并与国内椭偏仪实测数据进行对比分析,表明本系统的实验数据更为可信.在此基础上还用本系统实测了几种常用光刻胶薄膜,通过估算和分析它们的折射率在日照前后的变化,进一步验证本系统的可行性和适应性.论文最后对此类系统设置要点进行了归纳,为系统今后的改进提供参考.
針對聚閤物PMMA改性光波導研製的需求,自建瞭一檯變入射角、開放光路、適用範圍更廣的橢偏測試儀.通過實際測量聚閤物PMMA改性薄膜,併與國內橢偏儀實測數據進行對比分析,錶明本繫統的實驗數據更為可信.在此基礎上還用本繫統實測瞭幾種常用光刻膠薄膜,通過估算和分析它們的摺射率在日照前後的變化,進一步驗證本繫統的可行性和適應性.論文最後對此類繫統設置要點進行瞭歸納,為繫統今後的改進提供參攷.
침대취합물PMMA개성광파도연제적수구,자건료일태변입사각、개방광로、괄용범위경엄적타편측시의.통과실제측량취합물PMMA개성박막,병여국내타편의실측수거진행대비분석,표명본계통적실험수거경위가신.재차기출상환용본계통실측료궤충상용광각효박막,통과고산화분석타문적절사솔재일조전후적변화,진일보험증본계통적가행성화괄응성.논문최후대차류계통설치요점진행료귀납,위계통금후적개진제공삼고.
