真空科学与技术学报
真空科學與技術學報
진공과학여기술학보
JOURNAL OF VACUUM SCIENCE AND TECHNOLOGY
2005年
4期
245-248
,共4页
王新昌%叶志镇%李士玲%曹亮亮%赵炳辉
王新昌%葉誌鎮%李士玲%曹亮亮%趙炳輝
왕신창%협지진%리사령%조량량%조병휘
脉冲激光沉积%LiNbO3薄膜%光波导%硅衬底
脈遲激光沉積%LiNbO3薄膜%光波導%硅襯底
맥충격광침적%LiNbO3박막%광파도%규츤저
利用脉冲激光沉积技术在硅衬底上生长高c轴取向LiNbO3薄膜.研究了衬底温度对薄膜质量的影响,发现衬底温度在600 ℃时获得了具有优异结晶质量的高c轴取向LiNbO3薄膜.采用扫描电镜和透射电镜分别对薄膜的表面、截面进行了分析,结果表明,薄膜表面光滑,晶粒均匀致密,薄膜呈与衬底垂直的柱状结构.棱镜耦合技术制备的LiNbO3薄膜具有优异的光波导性能,光损耗为1.14 dB/cm.
利用脈遲激光沉積技術在硅襯底上生長高c軸取嚮LiNbO3薄膜.研究瞭襯底溫度對薄膜質量的影響,髮現襯底溫度在600 ℃時穫得瞭具有優異結晶質量的高c軸取嚮LiNbO3薄膜.採用掃描電鏡和透射電鏡分彆對薄膜的錶麵、截麵進行瞭分析,結果錶明,薄膜錶麵光滑,晶粒均勻緻密,薄膜呈與襯底垂直的柱狀結構.稜鏡耦閤技術製備的LiNbO3薄膜具有優異的光波導性能,光損耗為1.14 dB/cm.
이용맥충격광침적기술재규츤저상생장고c축취향LiNbO3박막.연구료츤저온도대박막질량적영향,발현츤저온도재600 ℃시획득료구유우이결정질량적고c축취향LiNbO3박막.채용소묘전경화투사전경분별대박막적표면、절면진행료분석,결과표명,박막표면광활,정립균균치밀,박막정여츤저수직적주상결구.릉경우합기술제비적LiNbO3박막구유우이적광파도성능,광손모위1.14 dB/cm.
