仪器仪表学报
儀器儀錶學報
의기의표학보
CHINESE JOURNAL OF SCIENTIFIC INSTRUMENT
2004年
z1期
308-309
,共2页
闫卫平%席文柱%邝永变%杜立群
閆衛平%席文柱%鄺永變%杜立群
염위평%석문주%광영변%두립군
热敏电阻 Ni薄膜 电子探针微分析(EPMA)
熱敏電阻 Ni薄膜 電子探針微分析(EPMA)
열민전조 Ni박막 전자탐침미분석(EPMA)
采用磁控溅射方法制备Ni薄膜热敏电阻,其电阻温度系数(TCR)为5.7×10-3/℃.对Ni电阻薄膜表面和横截面进行了电子探针微分析(EPMA),得到了Ni薄膜横截面的线分析谱线,并对Ni薄膜表面结构进行了较深入的分析.
採用磁控濺射方法製備Ni薄膜熱敏電阻,其電阻溫度繫數(TCR)為5.7×10-3/℃.對Ni電阻薄膜錶麵和橫截麵進行瞭電子探針微分析(EPMA),得到瞭Ni薄膜橫截麵的線分析譜線,併對Ni薄膜錶麵結構進行瞭較深入的分析.
채용자공천사방법제비Ni박막열민전조,기전조온도계수(TCR)위5.7×10-3/℃.대Ni전조박막표면화횡절면진행료전자탐침미분석(EPMA),득도료Ni박막횡절면적선분석보선,병대Ni박막표면결구진행료교심입적분석.
