功能材料
功能材料
공능재료
JOURNAL OF FUNCTIONAL MATERIALS
2004年
z1期
1232-1235
,共4页
陈长青%毛旭%周祯来%陈刚%刘焕林%杨宇
陳長青%毛旭%週禎來%陳剛%劉煥林%楊宇
진장청%모욱%주정래%진강%류환림%양우
磁控溅射%纳米碳化硅%红外吸收%拉曼吸收
磁控濺射%納米碳化硅%紅外吸收%拉曼吸收
자공천사%납미탄화규%홍외흡수%랍만흡수
用射频磁控溅射法在玻璃衬底上制备出一系列衬底温度不同的纳米碳化硅薄膜,衬底温度分别为室温,200、400、600、700℃,并对样品进行了Raman和傅立叶红外测试分析.结果表明,随衬底温度的升高,薄膜结晶度提高,其晶粒尺寸为纳米数量级.通过FTIR不仅观察到SiC的TO声子在红外被激活,而且LO声子在粒径很小或薄膜很薄时也能在红外被激活,体现了纳米SiC较强的红外吸收特性.
用射頻磁控濺射法在玻璃襯底上製備齣一繫列襯底溫度不同的納米碳化硅薄膜,襯底溫度分彆為室溫,200、400、600、700℃,併對樣品進行瞭Raman和傅立葉紅外測試分析.結果錶明,隨襯底溫度的升高,薄膜結晶度提高,其晶粒呎吋為納米數量級.通過FTIR不僅觀察到SiC的TO聲子在紅外被激活,而且LO聲子在粒徑很小或薄膜很薄時也能在紅外被激活,體現瞭納米SiC較彊的紅外吸收特性.
용사빈자공천사법재파리츤저상제비출일계렬츤저온도불동적납미탄화규박막,츤저온도분별위실온,200、400、600、700℃,병대양품진행료Raman화부립협홍외측시분석.결과표명,수츤저온도적승고,박막결정도제고,기정립척촌위납미수량급.통과FTIR불부관찰도SiC적TO성자재홍외피격활,이차LO성자재립경흔소혹박막흔박시야능재홍외피격활,체현료납미SiC교강적홍외흡수특성.
