传感器世界
傳感器世界
전감기세계
SENSOR WORLD
2004年
10期
11-17
,共7页
微光机电系统(MOEMS)%微机电系统(MEMS)
微光機電繫統(MOEMS)%微機電繫統(MEMS)
미광궤전계통(MOEMS)%미궤전계통(MEMS)
在过去的十几年里,随着微机械加工技术的惊人发展,微机电系统(MEMS)与光学技术的结合应用成为可能,这种结合体被称为微光机电系统(MOEMS).作为一个新兴的多学科交叉的研究领域,其也成为了光学器件发展的新方向.本文阐述了MOEMS基本理论、方法;介绍了MOEMS技术在国内外的发展现状及这一技术最新取得的进展;分析了光学系统中引入MEMS的重要性;列举了一些有代表性的MOEMS器件,并介绍了它们的制作过程以及它们与其它常规器件相比的性能优势;最后描绘了MOEMS技术的发展前景.
在過去的十幾年裏,隨著微機械加工技術的驚人髮展,微機電繫統(MEMS)與光學技術的結閤應用成為可能,這種結閤體被稱為微光機電繫統(MOEMS).作為一箇新興的多學科交扠的研究領域,其也成為瞭光學器件髮展的新方嚮.本文闡述瞭MOEMS基本理論、方法;介紹瞭MOEMS技術在國內外的髮展現狀及這一技術最新取得的進展;分析瞭光學繫統中引入MEMS的重要性;列舉瞭一些有代錶性的MOEMS器件,併介紹瞭它們的製作過程以及它們與其它常規器件相比的性能優勢;最後描繪瞭MOEMS技術的髮展前景.
재과거적십궤년리,수착미궤계가공기술적량인발전,미궤전계통(MEMS)여광학기술적결합응용성위가능,저충결합체피칭위미광궤전계통(MOEMS).작위일개신흥적다학과교차적연구영역,기야성위료광학기건발전적신방향.본문천술료MOEMS기본이론、방법;개소료MOEMS기술재국내외적발전현상급저일기술최신취득적진전;분석료광학계통중인입MEMS적중요성;열거료일사유대표성적MOEMS기건,병개소료타문적제작과정이급타문여기타상규기건상비적성능우세;최후묘회료MOEMS기술적발전전경.
