材料保护
材料保護
재료보호
MATERIALS PROTECTION
2004年
10期
26-28
,共3页
磁控溅射%钽膜%涂层钛阳极%工艺
磁控濺射%鐽膜%塗層鈦暘極%工藝
자공천사%단막%도층태양겁%공예
涂层钛阳极在使用中会因氧化而失效.为了开发新型的涂层钛阳极,进行了磁控溅射钽作钛阳极底层的研究.通过改变溅射功率、氩气压力及溅射时间,对不同工艺条件下沉积的钽膜进行了分析.用XRD分析了溅射层的成分及相结构;通过SEM,AFM观察了钽膜的微观形貌和颗粒尺寸;用拉开法测定了钽膜的附着力.综合分析了影响钽膜质量的因素,推荐磁控溅射3～4靘钽膜的优化工艺为:功率100～130 W,氩气压力0.1～0.3 Pa,溅射时间45～50 min.钽膜作为底层可提高二氧化铅阳极的使用寿命40倍以上.
塗層鈦暘極在使用中會因氧化而失效.為瞭開髮新型的塗層鈦暘極,進行瞭磁控濺射鐽作鈦暘極底層的研究.通過改變濺射功率、氬氣壓力及濺射時間,對不同工藝條件下沉積的鐽膜進行瞭分析.用XRD分析瞭濺射層的成分及相結構;通過SEM,AFM觀察瞭鐽膜的微觀形貌和顆粒呎吋;用拉開法測定瞭鐽膜的附著力.綜閤分析瞭影響鐽膜質量的因素,推薦磁控濺射3～4靘鐽膜的優化工藝為:功率100～130 W,氬氣壓力0.1～0.3 Pa,濺射時間45～50 min.鐽膜作為底層可提高二氧化鉛暘極的使用壽命40倍以上.
도층태양겁재사용중회인양화이실효.위료개발신형적도층태양겁,진행료자공천사단작태양겁저층적연구.통과개변천사공솔、아기압력급천사시간,대불동공예조건하침적적단막진행료분석.용XRD분석료천사층적성분급상결구;통과SEM,AFM관찰료단막적미관형모화과립척촌;용랍개법측정료단막적부착력.종합분석료영향단막질량적인소,추천자공천사3～4정단막적우화공예위:공솔100～130 W,아기압력0.1～0.3 Pa,천사시간45～50 min.단막작위저층가제고이양화연양겁적사용수명40배이상.
