物理
物理
물리
2003年
7期
455-457
,共3页
飞秒激光%微构造%"黑硅"
飛秒激光%微構造%"黑硅"
비초격광%미구조%"흑규"
在SF6气体氛围内用飞秒激光照射硅表面,可在硅表面产生准规则排列的微米量级尖峰结构,形成"黑硅"新材料.初步研究表明,这种 "黑硅"新材料对波长为250-2500nm的光波有大于90%的吸收,同时它还具有相当好的场致发射特性.由于具有这些奇特的光电性质,这种表面微构造的硅材料在光电探测器、太阳能电池、平板显示器等器件制造领域有着重要的潜在应用价值.
在SF6氣體氛圍內用飛秒激光照射硅錶麵,可在硅錶麵產生準規則排列的微米量級尖峰結構,形成"黑硅"新材料.初步研究錶明,這種 "黑硅"新材料對波長為250-2500nm的光波有大于90%的吸收,同時它還具有相噹好的場緻髮射特性.由于具有這些奇特的光電性質,這種錶麵微構造的硅材料在光電探測器、太暘能電池、平闆顯示器等器件製造領域有著重要的潛在應用價值.
재SF6기체분위내용비초격광조사규표면,가재규표면산생준규칙배렬적미미량급첨봉결구,형성"흑규"신재료.초보연구표명,저충 "흑규"신재료대파장위250-2500nm적광파유대우90%적흡수,동시타환구유상당호적장치발사특성.유우구유저사기특적광전성질,저충표면미구조적규재료재광전탐측기、태양능전지、평판현시기등기건제조영역유착중요적잠재응용개치.
