电子元件与材料
電子元件與材料
전자원건여재료
ELECTRONIC COMPONENTS & MATERIALS
2003年
6期
33-36
,共4页
微驱动器%微型机电系统%驱动原理%驱动方式%加工技术
微驅動器%微型機電繫統%驅動原理%驅動方式%加工技術
미구동기%미형궤전계통%구동원리%구동방식%가공기술
为了优化设计微驱动器,笔者通过对比近年来各种微驱动器的研究和发展,系统地概括总结了微驱动器所采用的主要的驱动原理、驱动方式和加工技术及其存在的优缺点等.并在此基础上,首次将微驱动器按功能进行了分类.
為瞭優化設計微驅動器,筆者通過對比近年來各種微驅動器的研究和髮展,繫統地概括總結瞭微驅動器所採用的主要的驅動原理、驅動方式和加工技術及其存在的優缺點等.併在此基礎上,首次將微驅動器按功能進行瞭分類.
위료우화설계미구동기,필자통과대비근년래각충미구동기적연구화발전,계통지개괄총결료미구동기소채용적주요적구동원리、구동방식화가공기술급기존재적우결점등.병재차기출상,수차장미구동기안공능진행료분류.
