功能材料
功能材料
공능재료
JOURNAL OF FUNCTIONAL MATERIALS
2001年
4期
447-448
,共2页
饶瑞%徐重阳%王长安%赵伯芳%周雪梅%曾祥斌
饒瑞%徐重暘%王長安%趙伯芳%週雪梅%曾祥斌
요서%서중양%왕장안%조백방%주설매%증상빈
金属诱导%非晶硅薄膜%低温晶化%多晶硅薄膜
金屬誘導%非晶硅薄膜%低溫晶化%多晶硅薄膜
금속유도%비정규박막%저온정화%다정규박막
介绍了一种非晶硅薄膜低温晶化的新工艺--金属诱导非晶硅薄膜低温晶化.在非晶硅膜上蒸镀金属铝薄膜,而后于氮气保护中退火,实现了非晶硅薄膜的低温(＜600℃)晶化.利用X射线衍射、光学显微镜及透射电镜等测试方法,研究了不同退火工艺对非晶硅薄膜低温晶化的影响,确定了所制备的是多晶硅薄膜.
介紹瞭一種非晶硅薄膜低溫晶化的新工藝--金屬誘導非晶硅薄膜低溫晶化.在非晶硅膜上蒸鍍金屬鋁薄膜,而後于氮氣保護中退火,實現瞭非晶硅薄膜的低溫(＜600℃)晶化.利用X射線衍射、光學顯微鏡及透射電鏡等測試方法,研究瞭不同退火工藝對非晶硅薄膜低溫晶化的影響,確定瞭所製備的是多晶硅薄膜.
개소료일충비정규박막저온정화적신공예--금속유도비정규박막저온정화.재비정규막상증도금속려박막,이후우담기보호중퇴화,실현료비정규박막적저온(＜600℃)정화.이용X사선연사、광학현미경급투사전경등측시방법,연구료불동퇴화공예대비정규박막저온정화적영향,학정료소제비적시다정규박막.
