功能材料与器件学报
功能材料與器件學報
공능재료여기건학보
JOURNAL OF FUNCTIONAL MATERIALS AND DEVICES
2001年
4期
401-404
,共4页
闵靖%邹子英%李积和%陈青松%周子美%陈一
閔靖%鄒子英%李積和%陳青鬆%週子美%陳一
민정%추자영%리적화%진청송%주자미%진일
多晶硅吸杂%内吸杂%增强吸杂%氧沉淀%氧化层错%洁净层
多晶硅吸雜%內吸雜%增彊吸雜%氧沉澱%氧化層錯%潔淨層
다정규흡잡%내흡잡%증강흡잡%양침정%양화층착%길정층
在器件的高温工艺过程中多晶硅再结晶,晶粒不断地长大,多晶硅层厚因高温氧化而减薄直到完全耗尽.在多晶硅层完全去除后在硅衬底中诱生出高密度的氧化层错起吸除中心作用.多晶硅能促进硅片内的氧沉淀成核和生长,起内吸杂作用.本文提出了多晶硅持续吸杂的机理.
在器件的高溫工藝過程中多晶硅再結晶,晶粒不斷地長大,多晶硅層厚因高溫氧化而減薄直到完全耗儘.在多晶硅層完全去除後在硅襯底中誘生齣高密度的氧化層錯起吸除中心作用.多晶硅能促進硅片內的氧沉澱成覈和生長,起內吸雜作用.本文提齣瞭多晶硅持續吸雜的機理.
재기건적고온공예과정중다정규재결정,정립불단지장대,다정규층후인고온양화이감박직도완전모진.재다정규층완전거제후재규츤저중유생출고밀도적양화층착기흡제중심작용.다정규능촉진규편내적양침정성핵화생장,기내흡잡작용.본문제출료다정규지속흡잡적궤리.
