中国设备管理
中國設備管理
중국설비관리
CHINA PLANT ENGINEERING
2001年
3期
24-25
,共2页
溅射离子泵%直线加速器
濺射離子泵%直線加速器
천사리자빙%직선가속기
介绍了溅射离子泵的工作原理及其对N2、O2、H2和惰性气体的排气机理,采用开槽阴极、增加一个离子收集极、泵内阴极做成蜂窝形对其结构加以改进,对高压电源、泵内真空度的估计、寿命、起动、清洗情况进行了说明,并给出了更换离子泵的注意事项及应用体会.
介紹瞭濺射離子泵的工作原理及其對N2、O2、H2和惰性氣體的排氣機理,採用開槽陰極、增加一箇離子收集極、泵內陰極做成蜂窩形對其結構加以改進,對高壓電源、泵內真空度的估計、壽命、起動、清洗情況進行瞭說明,併給齣瞭更換離子泵的註意事項及應用體會.
개소료천사리자빙적공작원리급기대N2、O2、H2화타성기체적배기궤리,채용개조음겁、증가일개리자수집겁、빙내음겁주성봉와형대기결구가이개진,대고압전원、빙내진공도적고계、수명、기동、청세정황진행료설명,병급출료경환리자빙적주의사항급응용체회.
