电子元件与材料
電子元件與材料
전자원건여재료
ELECTRONIC COMPONENTS & MATERIALS
2001年
1期
5-6,9
,共3页
氧化锆膜%晶体结构%织构
氧化鋯膜%晶體結構%織構
양화고막%정체결구%직구
用X射线衍射和扫描电镜研究了ZrO2膜的晶体结构和显微组织。结果表明ZrO2膜的相结构为立方氧化锆（c-ZrO2），晶粒尺寸细微。发现ZrO2膜中存在具有（111）面织构的柱状晶结构，这种结构可在基片上加负偏压消除。
用X射線衍射和掃描電鏡研究瞭ZrO2膜的晶體結構和顯微組織。結果錶明ZrO2膜的相結構為立方氧化鋯（c-ZrO2），晶粒呎吋細微。髮現ZrO2膜中存在具有（111）麵織構的柱狀晶結構，這種結構可在基片上加負偏壓消除。
용X사선연사화소묘전경연구료ZrO2막적정체결구화현미조직。결과표명ZrO2막적상결구위립방양화고（c-ZrO2），정립척촌세미。발현ZrO2막중존재구유（111）면직구적주상정결구，저충결구가재기편상가부편압소제。
The Crystal structure and microstructrue of ZrO2 thin film is investigated by means of X-ray diffraction and scanning electron microscopy. The result show that the crystal structure of ZrO2 film is of cubic Zirconia (c-ZrO2) structure and the grain size is very fine. A Columnar structure with (111) plane texture is observed and it can be subdued by applying bias voltage of -70 V on
substrates. (4 refs.)
