测控技术
測控技術
측공기술
MEASUREMENT & CONTROL TECHNOLOGY
1999年
10期
12-14
,共3页
微差分电容%相敏解调%接口电路
微差分電容%相敏解調%接口電路
미차분전용%상민해조%접구전로
介绍了一种可用于微机械电容式加速度传感器的接口电路,该电路应用了开关型相敏解调电路,具有灵敏度高、线性好的特点,能测量微差分电容的变化.实验结果表明,该电路的线性高,测量微差分电容具有良好性能,是一种具有实用价值的微差分电容测量接口电路.应用该电路于最新开发成的微机械电容式加速度传感器,电路输出信号的非线性小于0.20%.
介紹瞭一種可用于微機械電容式加速度傳感器的接口電路,該電路應用瞭開關型相敏解調電路,具有靈敏度高、線性好的特點,能測量微差分電容的變化.實驗結果錶明,該電路的線性高,測量微差分電容具有良好性能,是一種具有實用價值的微差分電容測量接口電路.應用該電路于最新開髮成的微機械電容式加速度傳感器,電路輸齣信號的非線性小于0.20%.
개소료일충가용우미궤계전용식가속도전감기적접구전로,해전로응용료개관형상민해조전로,구유령민도고、선성호적특점,능측량미차분전용적변화.실험결과표명,해전로적선성고,측량미차분전용구유량호성능,시일충구유실용개치적미차분전용측량접구전로.응용해전로우최신개발성적미궤계전용식가속도전감기,전로수출신호적비선성소우0.20%.
