电子显微学报
電子顯微學報
전자현미학보
JOURNAL OF CHINESE ELECTRON MICROSCOPY SOCIETY
1999年
1期
115-118
,共4页
刘安伟%禹国强%杨勇%胡小唐
劉安偉%禹國彊%楊勇%鬍小唐
류안위%우국강%양용%호소당
扫描隧道显微镜%图像重建%探针
掃描隧道顯微鏡%圖像重建%探針
소묘수도현미경%도상중건%탐침
在扫描隧道显微镜轮廓测量过程中,探针自身的几何形状会混入测量结果中,从而造成相应的测量误差.本文提出了根据对标准样品的测量结果,反算出探针的几何形状的算法,并应用于实测图像求解出探针的几何形状.在求得探针的几何形状后,文中推导了去除探针几何形状造成的误差,对扫描隧道显微镜图像进行重建的算法,并对实测样品进行了处理.结果表明上述算法可有效地减小探针自身形状造成的测量误差.
在掃描隧道顯微鏡輪廓測量過程中,探針自身的幾何形狀會混入測量結果中,從而造成相應的測量誤差.本文提齣瞭根據對標準樣品的測量結果,反算齣探針的幾何形狀的算法,併應用于實測圖像求解齣探針的幾何形狀.在求得探針的幾何形狀後,文中推導瞭去除探針幾何形狀造成的誤差,對掃描隧道顯微鏡圖像進行重建的算法,併對實測樣品進行瞭處理.結果錶明上述算法可有效地減小探針自身形狀造成的測量誤差.
재소묘수도현미경륜곽측량과정중,탐침자신적궤하형상회혼입측량결과중,종이조성상응적측량오차.본문제출료근거대표준양품적측량결과,반산출탐침적궤하형상적산법,병응용우실측도상구해출탐침적궤하형상.재구득탐침적궤하형상후,문중추도료거제탐침궤하형상조성적오차,대소묘수도현미경도상진행중건적산법,병대실측양품진행료처리.결과표명상술산법가유효지감소탐침자신형상조성적측량오차.
