无机材料学报
無機材料學報
무궤재료학보
JOURNAL OF INORGANIC MATERIALS
2003年
2期
490-494
,共5页
许小红%武海顺%马文瑾%段静芳%李佐宜
許小紅%武海順%馬文瑾%段靜芳%李佐宜
허소홍%무해순%마문근%단정방%리좌의
氮化铝薄膜%极图%织构
氮化鋁薄膜%極圖%織構
담화려박막%겁도%직구
在X射线衍射结果的基础上,采用极图法研究了AlN薄膜以(002)和(100)面的取向分布,发现在一定条件下制备的AlN(002)有很强的织构,并通过极图法来确定X射线衍射所无法确定的AlN(100)面择优取向薄膜中各晶粒c轴间的关系.
在X射線衍射結果的基礎上,採用極圖法研究瞭AlN薄膜以(002)和(100)麵的取嚮分佈,髮現在一定條件下製備的AlN(002)有很彊的織構,併通過極圖法來確定X射線衍射所無法確定的AlN(100)麵擇優取嚮薄膜中各晶粒c軸間的關繫.
재X사선연사결과적기출상,채용겁도법연구료AlN박막이(002)화(100)면적취향분포,발현재일정조건하제비적AlN(002)유흔강적직구,병통과겁도법래학정X사선연사소무법학정적AlN(100)면택우취향박막중각정립c축간적관계.
