武汉大学学报(理学版)
武漢大學學報(理學版)
무한대학학보(이학판)
JOURNAL OF WUHAN UNIVERSITY(Natural Science Edition)
2002年
5期
589-592
,共4页
孙杰兵%熊锐%王世敏%汤五丰%石兢%田德诚
孫傑兵%熊銳%王世敏%湯五豐%石兢%田德誠
손걸병%웅예%왕세민%탕오봉%석긍%전덕성
溶胶-凝胶%三氧化钼%薄膜
溶膠-凝膠%三氧化鉬%薄膜
용효-응효%삼양화목%박막
采用溶胶-凝胶法成功制备了三氧化钼(MoO3)薄膜. 首先,以CH3COCH2COCH3,MoO3,C6H5CH3和HOCH2CH2OCH3为原料合成三氧化钼溶胶和凝胶. 凝胶的热重和差热分析(TG-DTA)显示三氧化钼的晶化出现在508 ℃附近的140 ℃范围内. 其次,利用旋转涂布法在硅(111)基片上通过450 ℃退火处理制备了三氧化钼薄膜.XRD和FTIR谱表明薄膜为α-MoO3相. SEM形貌像显示薄膜中晶粒分布均匀致密,在基片表面无择优取向;晶粒尺度范围在0.5～1 μm之间.
採用溶膠-凝膠法成功製備瞭三氧化鉬(MoO3)薄膜. 首先,以CH3COCH2COCH3,MoO3,C6H5CH3和HOCH2CH2OCH3為原料閤成三氧化鉬溶膠和凝膠. 凝膠的熱重和差熱分析(TG-DTA)顯示三氧化鉬的晶化齣現在508 ℃附近的140 ℃範圍內. 其次,利用鏇轉塗佈法在硅(111)基片上通過450 ℃退火處理製備瞭三氧化鉬薄膜.XRD和FTIR譜錶明薄膜為α-MoO3相. SEM形貌像顯示薄膜中晶粒分佈均勻緻密,在基片錶麵無擇優取嚮;晶粒呎度範圍在0.5～1 μm之間.
채용용효-응효법성공제비료삼양화목(MoO3)박막. 수선,이CH3COCH2COCH3,MoO3,C6H5CH3화HOCH2CH2OCH3위원료합성삼양화목용효화응효. 응효적열중화차열분석(TG-DTA)현시삼양화목적정화출현재508 ℃부근적140 ℃범위내. 기차,이용선전도포법재규(111)기편상통과450 ℃퇴화처리제비료삼양화목박막.XRD화FTIR보표명박막위α-MoO3상. SEM형모상현시박막중정립분포균균치밀,재기편표면무택우취향;정립척도범위재0.5～1 μm지간.
