核聚变与等离子体物理
覈聚變與等離子體物理
핵취변여등리자체물리
NUCLEAR FUSION AND PLASMA PHYSICS
2002年
1期
61-64
,共4页
硬质合金%N+Ta双元注入%温度
硬質閤金%N+Ta雙元註入%溫度
경질합금%N+Ta쌍원주입%온도
利用升温离子注入技术,在PSII装置中实现了N+Ta双注入对硬质合金的有效表面改性,注入剂量为8×1017ions@cm-2,注入表面温度分别为100℃和400℃.用显微硬度计测定硬度,表明试样表面显微硬度均有提高,其中400℃试样表面显微硬度提高最大,高达200%.用俄歇电子能谱分析元素的浓度剖面,发现把温度从100℃提高到400℃,其注入层深度显著增加.X射线衍射测出了注入层表面形成的WN、TaN析出相.升温双元离子注入取得升温单元离子注入改性同样的效果,并获得比单元注入更好的复合优化强化层.
利用升溫離子註入技術,在PSII裝置中實現瞭N+Ta雙註入對硬質閤金的有效錶麵改性,註入劑量為8×1017ions@cm-2,註入錶麵溫度分彆為100℃和400℃.用顯微硬度計測定硬度,錶明試樣錶麵顯微硬度均有提高,其中400℃試樣錶麵顯微硬度提高最大,高達200%.用俄歇電子能譜分析元素的濃度剖麵,髮現把溫度從100℃提高到400℃,其註入層深度顯著增加.X射線衍射測齣瞭註入層錶麵形成的WN、TaN析齣相.升溫雙元離子註入取得升溫單元離子註入改性同樣的效果,併穫得比單元註入更好的複閤優化彊化層.
이용승온리자주입기술,재PSII장치중실현료N+Ta쌍주입대경질합금적유효표면개성,주입제량위8×1017ions@cm-2,주입표면온도분별위100℃화400℃.용현미경도계측정경도,표명시양표면현미경도균유제고,기중400℃시양표면현미경도제고최대,고체200%.용아헐전자능보분석원소적농도부면,발현파온도종100℃제고도400℃,기주입층심도현저증가.X사선연사측출료주입층표면형성적WN、TaN석출상.승온쌍원리자주입취득승온단원리자주입개성동양적효과,병획득비단원주입경호적복합우화강화층.
