稀有金属材料与工程
稀有金屬材料與工程
희유금속재료여공정
RARE METAL MATERIALS AND ENGINEERNG
2008年
z1期
86-89
,共4页
陈敬峰%杜丕一%覃莹%翁文剑%韩高荣
陳敬峰%杜丕一%覃瑩%翁文劍%韓高榮
진경봉%두비일%담형%옹문검%한고영
PST薄膜%射频磁控溅射%Mg掺杂%介电性能
PST薄膜%射頻磁控濺射%Mg摻雜%介電性能
PST박막%사빈자공천사%Mg참잡%개전성능
利用固相烧结法制备的Mg掺杂Pb0.3Sr0.7(Ti1-xMgx)O3-x(PST)陶瓷为靶材,采用射频磁控溅射法在ITO玻璃基板上成功制备了Mg掺杂PST薄膜.用X射线衍射仪、扫描电子显微镜和阻抗分析仪分别测定PST薄膜的物相结构、表面形貌及介电性能.结果显示,薄膜具有良好的钙钛矿结构,无明显的择优取向生成,薄膜表面均匀致密.Mg的掺杂改善了PST薄膜电容值的频率特性,使其更加稳定.薄膜电容值随着掺杂含量的增加而降低,在Mg掺杂量x=0.05左右时达到相对最低值,随后略有升高,介电损耗也有类似现象.薄膜可调性受Mg掺杂量的增加而不断下降,总体下降约3倍,但介电损耗总体下降约达5倍.材料的优值在Mg掺杂量x=0.05时反而有所升高.
利用固相燒結法製備的Mg摻雜Pb0.3Sr0.7(Ti1-xMgx)O3-x(PST)陶瓷為靶材,採用射頻磁控濺射法在ITO玻璃基闆上成功製備瞭Mg摻雜PST薄膜.用X射線衍射儀、掃描電子顯微鏡和阻抗分析儀分彆測定PST薄膜的物相結構、錶麵形貌及介電性能.結果顯示,薄膜具有良好的鈣鈦礦結構,無明顯的擇優取嚮生成,薄膜錶麵均勻緻密.Mg的摻雜改善瞭PST薄膜電容值的頻率特性,使其更加穩定.薄膜電容值隨著摻雜含量的增加而降低,在Mg摻雜量x=0.05左右時達到相對最低值,隨後略有升高,介電損耗也有類似現象.薄膜可調性受Mg摻雜量的增加而不斷下降,總體下降約3倍,但介電損耗總體下降約達5倍.材料的優值在Mg摻雜量x=0.05時反而有所升高.
이용고상소결법제비적Mg참잡Pb0.3Sr0.7(Ti1-xMgx)O3-x(PST)도자위파재,채용사빈자공천사법재ITO파리기판상성공제비료Mg참잡PST박막.용X사선연사의、소묘전자현미경화조항분석의분별측정PST박막적물상결구、표면형모급개전성능.결과현시,박막구유량호적개태광결구,무명현적택우취향생성,박막표면균균치밀.Mg적참잡개선료PST박막전용치적빈솔특성,사기경가은정.박막전용치수착참잡함량적증가이강저,재Mg참잡량x=0.05좌우시체도상대최저치,수후략유승고,개전손모야유유사현상.박막가조성수Mg참잡량적증가이불단하강,총체하강약3배,단개전손모총체하강약체5배.재료적우치재Mg참잡량x=0.05시반이유소승고.
