低温与特气
低溫與特氣
저온여특기
LOW TEMPERATURE AND SPECIALTY GASES
2009年
2期
29-31
,共3页
韦桂欢%张洪彬%龙庆云%李杰
韋桂歡%張洪彬%龍慶雲%李傑
위계환%장홍빈%룡경운%리걸
气相色谱/质谱法%测定%三氟化氮%一氧化二氮
氣相色譜/質譜法%測定%三氟化氮%一氧化二氮
기상색보/질보법%측정%삼불화담%일양화이담
建立了测定高纯三氟化氮(NF3)气体中痕量一氧化二氮(N2O)的选择离子监测(SIM)方式的气相色谱/质谱法.采用Porapak Q PLOT毛细管色谱柱(30 m×0.32 mm ×5 μm),以m/z＝44作为定量选择离子.同时考察了NF3工艺气物流对所选离子的测定干扰情况.方法在浓度为(5~100)×10-6(摩尔分数)范围内与峰面积呈线性关系,线性相关系数r=0.999,最低检测限为1×10-6(摩尔分数).平均加标回收率为90.20%~97.05%,测定相对标准偏差(RSD)<5.33%.
建立瞭測定高純三氟化氮(NF3)氣體中痕量一氧化二氮(N2O)的選擇離子鑑測(SIM)方式的氣相色譜/質譜法.採用Porapak Q PLOT毛細管色譜柱(30 m×0.32 mm ×5 μm),以m/z＝44作為定量選擇離子.同時攷察瞭NF3工藝氣物流對所選離子的測定榦擾情況.方法在濃度為(5~100)×10-6(摩爾分數)範圍內與峰麵積呈線性關繫,線性相關繫數r=0.999,最低檢測限為1×10-6(摩爾分數).平均加標迴收率為90.20%~97.05%,測定相對標準偏差(RSD)<5.33%.
건립료측정고순삼불화담(NF3)기체중흔량일양화이담(N2O)적선택리자감측(SIM)방식적기상색보/질보법.채용Porapak Q PLOT모세관색보주(30 m×0.32 mm ×5 μm),이m/z＝44작위정량선택리자.동시고찰료NF3공예기물류대소선리자적측정간우정황.방법재농도위(5~100)×10-6(마이분수)범위내여봉면적정선성관계,선성상관계수r=0.999,최저검측한위1×10-6(마이분수).평균가표회수솔위90.20%~97.05%,측정상대표준편차(RSD)<5.33%.
