电子工业专用设备
電子工業專用設備
전자공업전용설비
EQUIPMENT FOR ELECTRONIC PRODUCTS MANUFACTURING
2010年
7期
5-8,51
,共5页
大角度离子注入机%颗粒污染%产生%注入掺杂%预防
大角度離子註入機%顆粒汙染%產生%註入摻雜%預防
대각도리자주입궤%과립오염%산생%주입참잡%예방
针对大角度离子注入机中的颗粒污染进行了分析和探讨,着重描叙了颗粒的产生,对注入掺杂的影响;介绍了颗粒的测量和监控;重点列出了如何从设计上减少颗粒污染的产生途径以及生产设备怎样预防颗粒污染.
針對大角度離子註入機中的顆粒汙染進行瞭分析和探討,著重描敘瞭顆粒的產生,對註入摻雜的影響;介紹瞭顆粒的測量和鑑控;重點列齣瞭如何從設計上減少顆粒汙染的產生途徑以及生產設備怎樣預防顆粒汙染.
침대대각도리자주입궤중적과립오염진행료분석화탐토,착중묘서료과립적산생,대주입참잡적영향;개소료과립적측량화감공;중점렬출료여하종설계상감소과립오염적산생도경이급생산설비즘양예방과립오염.
