厦门大学学报（自然科学版）
廈門大學學報（自然科學版）
하문대학학보（자연과학판）
JOURNAL OF XIAMEN UNIVERSITY (NATURAL SCIENCE)
2011年
2期
286-292
,共7页
郭隐彪%王振忠%彭云峰%杨炜%毕果
郭隱彪%王振忠%彭雲峰%楊煒%畢果
곽은표%왕진충%팽운봉%양위%필과
微纳米加工%检测%超精密加工装备%快速抛光%加工监控%表面织构化
微納米加工%檢測%超精密加工裝備%快速拋光%加工鑑控%錶麵織構化
미납미가공%검측%초정밀가공장비%쾌속포광%가공감공%표면직구화
超精密金刚石砂轮磨削是大口径先进光学元件微纳加工的主要技术,是实现确定性批量加工的重要保证.以实现高精度、高效率、高自动化程度加工为目的,阐述了大口径光学元件微纳加工与检测的加工技术系统,详细分析高精度加工设备及工艺控制、大尺寸检测、加工环境监控、快速抛光、表面织构化等研究应用情况.
超精密金剛石砂輪磨削是大口徑先進光學元件微納加工的主要技術,是實現確定性批量加工的重要保證.以實現高精度、高效率、高自動化程度加工為目的,闡述瞭大口徑光學元件微納加工與檢測的加工技術繫統,詳細分析高精度加工設備及工藝控製、大呎吋檢測、加工環境鑑控、快速拋光、錶麵織構化等研究應用情況.
초정밀금강석사륜마삭시대구경선진광학원건미납가공적주요기술,시실현학정성비량가공적중요보증.이실현고정도、고효솔、고자동화정도가공위목적,천술료대구경광학원건미납가공여검측적가공기술계통,상세분석고정도가공설비급공예공제、대척촌검측、가공배경감공、쾌속포광、표면직구화등연구응용정황.
