中国有色金属学报
中國有色金屬學報
중국유색금속학보
THE CHINESE JOURNAL OF NONFERROUS METALS
2011年
7期
1777-1784
,共8页
PS-CeO2复合磨料%核壳结构：化学机械抛光
PS-CeO2複閤磨料%覈殼結構：化學機械拋光
PS-CeO2복합마료%핵각결구：화학궤계포광
以无皂乳液聚合法制备的不同粒径聚苯乙烯(Ploystrene,PS)微球为内核,以硝酸铈和六亚甲基四胺为原料,采用液相工艺制备具有核壳结构的PS-CeO2复合微球.利用X射线衍射仪(XRD)、透射电子显微镜(TEM)、场发射扫描电镜(FESEM)、傅里叶转换红外光谱仪(FT-IR)和热重分析仪(TGA)等对样品的成分、物相结构、形貌、粒径以及团聚情况进行表征.将所制备的PS-CeO2复合微球作为磨料用于二氧化硅介质层的化学机械抛光,用原子力显微镜(AFM)观察抛光表面的微观形貌,测量表面粗糙度.结果表明:所制备的3种PS微球呈单分散规则球形,粒径分别约为120、170和240 nm;3种PS-CeO2复合微球具有核壳结构,粒径分别约为140、190和260nm,CeO2壳厚约为10 nm.随着PS-CeO2复合磨料粒径的减小,抛光表面粗糙度随之降低,经样品F1抛光后表面在10 μm× 10 μm面积范围内粗糙度的平均值（Ra）及其均方根（Rms）分别为0.372和0.470 nm.
以無皂乳液聚閤法製備的不同粒徑聚苯乙烯(Ploystrene,PS)微毬為內覈,以硝痠鈰和六亞甲基四胺為原料,採用液相工藝製備具有覈殼結構的PS-CeO2複閤微毬.利用X射線衍射儀(XRD)、透射電子顯微鏡(TEM)、場髮射掃描電鏡(FESEM)、傅裏葉轉換紅外光譜儀(FT-IR)和熱重分析儀(TGA)等對樣品的成分、物相結構、形貌、粒徑以及糰聚情況進行錶徵.將所製備的PS-CeO2複閤微毬作為磨料用于二氧化硅介質層的化學機械拋光,用原子力顯微鏡(AFM)觀察拋光錶麵的微觀形貌,測量錶麵粗糙度.結果錶明:所製備的3種PS微毬呈單分散規則毬形,粒徑分彆約為120、170和240 nm;3種PS-CeO2複閤微毬具有覈殼結構,粒徑分彆約為140、190和260nm,CeO2殼厚約為10 nm.隨著PS-CeO2複閤磨料粒徑的減小,拋光錶麵粗糙度隨之降低,經樣品F1拋光後錶麵在10 μm× 10 μm麵積範圍內粗糙度的平均值（Ra）及其均方根（Rms）分彆為0.372和0.470 nm.
이무조유액취합법제비적불동립경취분을희(Ploystrene,PS)미구위내핵,이초산시화륙아갑기사알위원료,채용액상공예제비구유핵각결구적PS-CeO2복합미구.이용X사선연사의(XRD)、투사전자현미경(TEM)、장발사소묘전경(FESEM)、부리협전환홍외광보의(FT-IR)화열중분석의(TGA)등대양품적성분、물상결구、형모、립경이급단취정황진행표정.장소제비적PS-CeO2복합미구작위마료용우이양화규개질층적화학궤계포광,용원자력현미경(AFM)관찰포광표면적미관형모,측량표면조조도.결과표명:소제비적3충PS미구정단분산규칙구형,립경분별약위120、170화240 nm;3충PS-CeO2복합미구구유핵각결구,립경분별약위140、190화260nm,CeO2각후약위10 nm.수착PS-CeO2복합마료립경적감소,포광표면조조도수지강저,경양품F1포광후표면재10 μm× 10 μm면적범위내조조도적평균치（Ra）급기균방근（Rms）분별위0.372화0.470 nm.
