制造技术与机床
製造技術與機床
제조기술여궤상
MANUFACTURING TECHNOLOGY & MACHINE TOOL
2012年
8期
87-94
,共8页
纳米压印光刻%关键技术%技术挑战
納米壓印光刻%關鍵技術%技術挑戰
납미압인광각%관건기술%기술도전
文章在阐述纳米压印工艺构成要素的基础上,对几种传统压印技术工艺及其工艺变种进行了简要介绍,总结出了纳米压印中所涉及的几个关键技术问题,并对纳米压印在集成电路制造中所面临的挑战进行了分析.
文章在闡述納米壓印工藝構成要素的基礎上,對幾種傳統壓印技術工藝及其工藝變種進行瞭簡要介紹,總結齣瞭納米壓印中所涉及的幾箇關鍵技術問題,併對納米壓印在集成電路製造中所麵臨的挑戰進行瞭分析.
문장재천술납미압인공예구성요소적기출상,대궤충전통압인기술공예급기공예변충진행료간요개소,총결출료납미압인중소섭급적궤개관건기술문제,병대납미압인재집성전로제조중소면림적도전진행료분석.
