南昌大学学报(理科版)
南昌大學學報(理科版)
남창대학학보(이과판)
JOURNAL OF NANCHANG UNIVERSITH (NATURAL SCIENCE)
2003年
1期
26-28,44
,共4页
赖珍荃%李新曦%俞进%王根水%郭少令%褚君浩
賴珍荃%李新晞%俞進%王根水%郭少令%褚君浩
뢰진전%리신희%유진%왕근수%곽소령%저군호
PZT铁电薄膜%射频磁控溅射%退火温度
PZT鐵電薄膜%射頻磁控濺射%退火溫度
PZT철전박막%사빈자공천사%퇴화온도
在具有Ti缓冲层的Pt(111)底电极上,用射频溅射工艺在较低的衬底温度(370℃)和纯Ar气氛中沉积Pb(Zr0.52Ti0.48)O3(PZT)薄膜,沉积过程中基片架作15°摇摆以提高膜厚的均匀性.然后将样品在大气中进行5min快速热退火处理,退火温度550-680℃.用XRD、SEM分析薄膜的微结构,RT66A标准铁电测试系统测量样品的铁电和介电性能.结果表明,所沉积的Pt为(111)取向,仅当后退火温度高于580℃,沉积在Pt(111)上的PZT薄膜才能形成钙钛矿结构的铁电相,退火温度在580-600℃时结晶为(110)择优取向,退火温度高于600℃时结晶为(111)择优取向.PZT薄膜的极化强度随退火温度的升高而增加,但退火温度超过650℃时漏电流急剧上升,因此退火处理的温度对PZT薄膜的结构和性能有决定性的影响.
在具有Ti緩遲層的Pt(111)底電極上,用射頻濺射工藝在較低的襯底溫度(370℃)和純Ar氣氛中沉積Pb(Zr0.52Ti0.48)O3(PZT)薄膜,沉積過程中基片架作15°搖襬以提高膜厚的均勻性.然後將樣品在大氣中進行5min快速熱退火處理,退火溫度550-680℃.用XRD、SEM分析薄膜的微結構,RT66A標準鐵電測試繫統測量樣品的鐵電和介電性能.結果錶明,所沉積的Pt為(111)取嚮,僅噹後退火溫度高于580℃,沉積在Pt(111)上的PZT薄膜纔能形成鈣鈦礦結構的鐵電相,退火溫度在580-600℃時結晶為(110)擇優取嚮,退火溫度高于600℃時結晶為(111)擇優取嚮.PZT薄膜的極化彊度隨退火溫度的升高而增加,但退火溫度超過650℃時漏電流急劇上升,因此退火處理的溫度對PZT薄膜的結構和性能有決定性的影響.
재구유Ti완충층적Pt(111)저전겁상,용사빈천사공예재교저적츤저온도(370℃)화순Ar기분중침적Pb(Zr0.52Ti0.48)O3(PZT)박막,침적과정중기편가작15°요파이제고막후적균균성.연후장양품재대기중진행5min쾌속열퇴화처리,퇴화온도550-680℃.용XRD、SEM분석박막적미결구,RT66A표준철전측시계통측량양품적철전화개전성능.결과표명,소침적적Pt위(111)취향,부당후퇴화온도고우580℃,침적재Pt(111)상적PZT박막재능형성개태광결구적철전상,퇴화온도재580-600℃시결정위(110)택우취향,퇴화온도고우600℃시결정위(111)택우취향.PZT박막적겁화강도수퇴화온도적승고이증가,단퇴화온도초과650℃시루전류급극상승,인차퇴화처리적온도대PZT박막적결구화성능유결정성적영향.
