射频等离子体处理对TiO2薄膜光电转换和亲水性的影响
사빈등리자체처리대TiO2박막광전전환화친수성적영향
Photo-electrical Performance of TiO2 Thin Films by Ar Plasma Treatment
  • 万方数据
    液晶与显示 액정여현시
    CHINESE JOURNAL OF LIQUID CRYSTALS AND DISPLAYS
    2005年 3期 205-209 ,共5页

    韩俊波%王念%于国萍%魏正和%钟家柽%王取泉%周正国

    한준파%왕념%우국평%위정화%종가정%왕취천%주정국

    等离子体处理%射频溅射%光电转换%亲水性%TiO2纳米晶 等離子體處理%射頻濺射%光電轉換%親水性%TiO2納米晶
    등리자체처리%사빈천사%광전전환%친수성%TiO2납미정
    用反应射频溅射法在导电玻璃上制备TiO2薄膜,并用Ar射频等离子体对TiO2薄膜进行处理.利用XRD、XPS、UV-VIS透射光谱和AFM等测试手段研究Ar射频等离子体处理对TiO2纳米薄膜的结构、成分和光电性能的影响,用液滴形貌分析法测量水滴在TiO2薄膜表面的接触角.经过Ar射频等离子处理后,用TiO2薄膜组装的光电池的光电流提高了约80%,TiO2薄膜的亲水角由66°左右迅速减小.
    용반응사빈천사법재도전파리상제비TiO2박막,병용Ar사빈등리자체대TiO2박막진행처리.이용XRD、XPS、UV-VIS투사광보화AFM등측시수단연구Ar사빈등리자체처리대TiO2납미박막적결구、성분화광전성능적영향,용액적형모분석법측량수적재TiO2박막표면적접촉각.경과Ar사빈등리자처리후,용TiO2박막조장적광전지적광전류제고료약80%,TiO2박막적친수각유66°좌우신속감소.
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